這是一個(gè)比較籠統(tǒng)的問題。因?yàn)榫蛢x器不準(zhǔn)的原因來說是多種多樣的。單對(duì)涂層測(cè)厚儀來說，主要有下面幾種原因引起測(cè)量不準(zhǔn)確。
(1)強(qiáng)磁場(chǎng)的干擾。我們?cè)鲞^一個(gè)簡單實(shí)驗(yàn)，當(dāng)儀器在1萬V左右的電磁場(chǎng)附近工作時(shí)，測(cè)量會(huì)受到嚴(yán)重的干擾。如果離電磁場(chǎng)非常近時(shí)還有可能會(huì)發(fā)生死機(jī)現(xiàn)象。
(2)人為因素。這中情況經(jīng)常會(huì)發(fā)生在新用戶的身上。涂層測(cè)厚儀之所以能夠測(cè)量到微米級(jí)就因?yàn)樗軌虿扇〈磐康奈⑿∽兓?，并把它轉(zhuǎn)化成為數(shù)字信號(hào)。在使用儀器測(cè)量過程中如果用戶對(duì)本儀器不熟悉就可能使探頭偏離被測(cè)機(jī)體，使磁通量發(fā)生變化造成錯(cuò)誤測(cè)量。所以建議用戶朋友初次使用本儀器時(shí)，要先掌握好測(cè)量方法。探頭的放置方式對(duì)測(cè)量有很大影響，在測(cè)量中應(yīng)使探頭與試樣表面保持垂直。并且探頭的放置時(shí)間不宜過長，以免造成基體本身磁場(chǎng)的干擾。
(3)在系統(tǒng)矯正時(shí)沒有選擇合適的基體?；wzui小平面為7mm，zui小厚度為0.2mm，低于此臨界條件測(cè)量是不可靠的。
(4)附著物質(zhì)的影響。本儀器對(duì)那些妨礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質(zhì)敏感。因此必須清除附著物質(zhì)，以保證探頭與覆蓋層表面直接接觸。在進(jìn)行系統(tǒng)矯正時(shí)，選擇的基體的表面也必須是裸露的、光滑的。
(5)儀器發(fā)生故障。此時(shí)可以和技術(shù)人員交流或者返廠維修。